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《电子探针显微分析(EPMA) 术语标准解读》李香庭 中国科学院上海硅酸盐研究所研究员

发布时间:2022-12-10

  专家答疑

1、荧光X射线、二次电子和背散电子哪一个在样品上扩展的体积最大?

答:荧光X射线扩展体积最大,见上图
2、探测限是元素的固有属性吗?
答:不是。同一元素在不同材料中、用不同分析条件时,探测限一般不相同。
3、采集二次电子信号的探头在样品的什么位置,何能有效收集二次电子?
答:检测二次电子有两种探测器,位置及收集过程见图:


4、为什么观察形貌用2次电子,有没有1次电子、3次电子,如果有的话有什么用途么?
答:因为二次电子有如下特点:
(1)二次电子的能量低,通常小于50eV.仅在试样表面小于5nm~10nm的深度内才能逸出表面,所以图像分辨率高
(2)图像无阴影效应(镜筒内二次电子探测器),可以观察形貌复杂表面的形貌(例如断口试样),使图像有   立体感。
(3)易受试样表面状态、磁场和电场的影响,可以观察形貌、电畴和磁畴。一次电子是指入射电子,用于激发试样。没有三次电子。
5、如果产生大量背散射电子,二次电子2的产生量会很明显吗?探头以什么样的办法来区分?
答:SE2强度肯定会增加,通常没有办法区分。
6、请更详细地解释激发区域应如何确定,如何把握?
块状试样分析中,不需要单独计算分析范围的大小,但在特殊情况下,例如对夹杂物、细颗粒材料、薄膜或者涂层分析时,分析的范围为分析结果的有效性提供了重要依据,必须了解和计算激发区域。激发区域计算方法参见GB/T 30705—2014/ISO 14594-2009。
7、不镀膜样品除了降低加速电压外,还有其他手段可以提高观察效果吗
答:方法如下:




 举办时间
 2024-04-12 至 15

 举办地点
 河南 · 开封